半導體制造中為什么需要檢測露點？

發(fā)布日期：2025-01-10      瀏覽次數(shù)：86

半導體制造中為什么需要檢測露點？




水可能是所有生命的基礎(chǔ)，但當涉及到半導體制造等專業(yè)過程時，它通常是過程中不想要的化合物之一。

　　水蒸氣的存在不僅在技術(shù)方面，而且對商業(yè)成果都有非常重要的影響。即使是很少量的水蒸氣也會在晶片表面帶入雜質(zhì)或?qū)е卵趸?，從而會對半導體器件的電特性產(chǎn)生不利影響。

　　這可能導致生產(chǎn)效率降低、生產(chǎn)成本增加和制造時間延長，直接影響盈利能力和市場競爭力。

　　在光刻、沉積和蝕刻等關(guān)鍵工藝過程中，對濕度和水蒸氣的精確控制對于保持半導體層的結(jié)構(gòu)完整性和實現(xiàn)所需的產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。水蒸氣的有效管理不僅對于維護半導體器件所需的高性能標準和可靠性至關(guān)重要，而且對于確保高效的生產(chǎn)工藝、有力地減少浪費和保持強大的市場競爭地位也至關(guān)重要。



TEKHNE公司是一家擁有40年露點測量的日本制 造商，生產(chǎn)創(chuàng)新的TK-100系列濕度儀。  測量方便，帶有顯示屏的TK-100在線式濕度儀能 連續(xù)測量，你所需要的是100～240VAC電源和樣氣接 口。此外，你也可以選擇TK-100露點傳感器，單獨使 用4～20mA信號輸出供電18～28VDC。

特征

簡 便  

TEKHNE公司是一家擁有40年露點測量的日本制 造商，生產(chǎn)創(chuàng)新的TK-100系列濕度儀。  測量方便，帶有顯示屏的TK-100在線式濕度儀能 連續(xù)測量，你所需要的是100～240VAC電源和樣氣接 口。此外，你也可以選擇TK-100露點傳感器，單獨使 用4～20mA信號輸出供電18～28VDC。

高 品 質(zhì)  

TEKHNE的氧化鋁陶瓷傳感器能保證最佳精度， 快速響應(yīng)以及長期穩(wěn)定性。大多數(shù)先進的傳感器技術(shù) 均應(yīng)用于此。  此外，先進的微處理器技術(shù)實現(xiàn)全溫度補償，將 處理溫度到露點測量值的影響最小化。通過TK-100傳 感器把-80～+20℃露點輸出轉(zhuǎn)換為穩(wěn)定的和線性的 4～20mA輸出。

靈 活 性 

 TEKHNE的TK-100系列用于空氣或惰性氣體的露 點測量。把傳感器通過選件取樣座由5/8" UNF或1/8"  NPT接入到你的處理線上。1/8 DIN顯示屏可在距離傳 感器1000米遠處設(shè)置。  處理線的流量必須設(shè)定為1～10NL/分（帶選件取 樣座）或0.5～10m/秒（不帶選件取樣座）溫度范圍 -20～+60℃，壓力可達30MPa。建議安裝過濾器濾去 灰塵。




主要用途

• 手套箱內(nèi)的露點控制

• 干燥機露點檢查

• 熱處理爐內(nèi)氣氛控制

• 潔凈室和干燥室的露點管理

• 氣體純度控制

• 天然氣水分管理

• 半導體制造設(shè)備

• 有機EL制造